成功案例｜格創東智AOI檢測設備助力頭部矽片廠實現生産全流程自動化質檢

　　國内頭部半導體材料廠，專注于半導體矽片及其延伸産業領域的研發和制造，堅持以創新驅動發展，為全球客戶提供全産品解決方案。

　　衆所周知，矽片是生産集成電路、分立器件、傳感器等半導體産品的關鍵材料，是半導體産業鍊基礎性的一環。但在矽片生産過程中，伴随複雜工藝流程産生的缺陷種類多且複雜，多數工廠采用人工目檢方式進行外觀檢測，而人工目檢會随着産能的提升和工藝能力要求的提高産生諸多弊端：

　　判定标準不統一，檢測效率低下

　　質檢人員流動性大，培訓周期長

　　無留檔記錄，無法追溯曆史數據

　　缺陷種類多，無法量化缺陷統計數據

　　無法實時監控和反饋數據，缺少工藝異常鎖定功能

　　格創東智結合矽片材料廠生産工藝以及産品特點，推出了ALIOTH系列的S800P産品，該産品專門針對矽片在酸腐、多晶、背封、去邊等不同工藝過程中的各類缺陷進行自動化檢測、分類、統計;通過CV+AI複合算法，極大提升缺陷檢出的準确率，改善矽片在生産過程中的質量控制，同時協助工廠實現降本增效。

　　1)産品外觀缺陷檢測：通過機器視覺獲取産品表面特征圖像，對圖像中的缺陷進行精準定位抓取，并進行精準識别與分類;

　　2)數據統計分析：分析産品缺陷分類占比，準确定位缺陷位置信息，有效識别生産工藝改善方向;批量統計分析缺陷變化規律，定位缺陷産生原因及工藝，實時檢測設備及工藝性能波動情況;結合生産過程中出現的缺陷數據和趨勢信息，對改善制造工藝、優化生産流程進行缺陷根因分析;

　　3)自适應缺陷識别：通過自适應成像配置調節及多種成像方式，結合無監督遷移學習的人工智能算法，對新形态缺陷不論大小以及形态均實現自适應缺陷檢出。并配合自動化質量監控對設備問題進行報警。

　　該企業結合客戶質量控制需求，通過ALIOTH-S800P AOI外觀缺陷檢測設備，替代傳統人工目檢，在矽片生産工藝過程中進行外觀檢測，實現了缺陷的自動化檢測、分類、統計以及等級劃分，極大地提升了檢測效率及準确率。

　　1、人力投入降低80%

　　通過自動化檢測設備替代原有人工目檢，10秒檢測一塊矽片，檢測效率大幅提升，滿足高産能生産需求;1個人可以同時維護多台設備，大幅降低了人力投入，同時縮短了人工培訓周期。

　　2、缺陷檢測準确率高達99%

　　通過自适應高分辨率成像穩定獲取産品圖像特征，并結合機器視覺建立統一的缺陷檢測規範，有效提升了産品缺陷檢測的穩定性以及準确性。

　　3、出貨良率提升20%

　　在進行缺陷檢測的同時，進行大量數據統計分析，有效識别前段工藝生産問題及改善方向，進而促進生産工藝優化，結合精準的産品等級劃分，促使産品出貨良率提升。