東方晶源亮相SEMICON CHINA 全新産品矩陣展現高質量發展“芯”活力

　　6月29日-7月1日，全球半導體行業盛會SEMICON CHINA 2023在上海新國際博覽中心盛大召開，9萬平方米展覽面積、4200多個展位、數十萬名專業觀衆創下大會新的紀錄，反映出我國半導體産業蓬勃向上、熱度空前。

　　作為國内集成電路領域良率管理領軍企業，東方晶源攜全新産品矩陣亮相大會，向業界全面展現公司在電子束檢測量測、芯片制造EDA工具等領域的新産品、新成果、新突破，彰顯出細分領域的技術實力以及高質量發展的創新活力。

　　本屆SEMICON CHINA，東方晶源展台位置突出、整體設計風格簡約大氣、科技感十足，産品矩陣更加清晰完整。自上屆SEMICON CHINA之後，公司保持高速的發展态勢，在行業内形成了巨大的影響力和關注度。6月29日上午，北京經濟技術開發區管委會主任孔磊等重要領導莅臨東方晶源展位進行參觀，董事長兼CTO俞宗強博士親自介紹了公司新産品以及取得的技術新突破。孔主任對東方晶源的發展成果給予了高度評價并勉勵企業，繼續發揮的技術優勢，加大産業化布局，實現全方位發展。

　　此外，東方晶源展台還吸引了超過50家客戶，衆多業界專家、合作夥伴、投資人和行業媒體的關注和到訪，展台熱度異常火爆。到場人員詳細了解公司情況，詢問産品技術細節，與展台工作人員深入探讨合作機會，共同尋求未來發展的新機遇。

　　DR-SEM正式亮相 電子束檢測量測領域優勢再擴大

　　本次展會，東方晶源電子束缺陷複檢設備DR-SEM(型号：SEpA-r600)正式亮相。該設備可滿足28nm及以上邏輯、3D-NAND、DRAM制程的缺陷複檢需求，具備全自動Review、結構透視和元素分析能力，D2D算法的加持令設備具有的捕獲率。目前已出機到客戶端進行産線驗證，獲得多個訂單。DR-SEM是東方晶源在電子束檢測領域的又一力作，在增加企業競争力，行業影響力方面具有重要意義。

　　此外，東方晶源三款經過産線驗證并進入量産的電子束檢測、量測設備，通過不斷疊代升級，産品性能取得大幅提升。電子束缺陷檢測設備EBI已進入28nm産線全自動量産超過2年，Uptime超過90%，UT(設備使用率)超過80%，電子束圖形分辨率、視場、關鍵缺陷抓取率等關鍵指标已達到行業主流水平。

　　12英寸、6/8英寸關鍵尺寸量測設備CD-SEM均已進入産線量産多時，可支持Line/Space, Hole/Elliptic, LER/LWR等多種量測場景、滿足多種成像需求。此外，東方晶源CD-SEM還具備基于設計版圖文件離線編輯Recipe功能(選配項)。值得一提的是，東方晶源推出的12英寸EBI和12英寸、6/8英寸CD-SEM均為國内首台，填補國内相關領域空白。

　　計算光刻軟件領銜 芯片制造EDA工具再添兩個新成員

　　東方晶源計算光刻軟件PanGen，打破國外技術壟斷，是國内且成功在國内主流邏輯和存儲Fab先進制程節點進行量産應用的OPC軟件。CPU+GPU混合超算架構、反向計算光刻ILT等前沿技術的運用，令PanGen具有出衆的性能。同時PanGen計算光刻平台已具備完整的功能鍊條，包括的制程仿真，DRC，SBAR, ILT, OPC, DPT 以及SMO，可提供全套計算光刻解決方案，領跑國内相關領域發展。

　　新産品YieldBook依托于公司的計算光刻OPC技術和電子束設備産品，結合自主開發的D2DB和DTCO技術，實現芯片研發與生産制造全過程的數據管理，有力支持芯片制造全流程一體化良率管理和提升。目前已在主流Logic Fab 28nm産線驗證中，即将進入另一個大型Fab進行驗證。

　　嚴格光刻仿真軟件PanSim是東方晶源聚焦國内又一空白領域所打造的新産品。該軟件依托于物理模型對光刻過程進行仿真，模拟各種光刻工藝條件，為光刻工藝工程師在進行新技術節點研發和改進生産工藝階段提供重要參考，可大大降低研發成本。目前，PanSim已經在客戶端進行驗證，作為一款完全國産化的嚴格光刻仿真工具，将打破被西方所壟斷的局面。

　　從2014年創立至今，九年來東方晶源取得了跨越式的發展。随着5月份公司股份制改造順利完成，IPO之路已全面開啟，公司也将邁入更加快速的發展新階段。目前，公司發展戰略清晰，組織和人才策略不斷夯實，在核心技術上進一步高築競争壁壘。未來在國家半導體産業發展布局整體政策的指導下，東方晶源将繼續響應國家号召、貼近産業發展需求、發揮自身技術優勢、推出更多産品、解決更多産業鍊關鍵問題，為中國半導體産業發展做出更大貢獻。