西人馬榮獲中國半導體MEMS十強企業榮譽，參展第十二屆納博會

　　10月27日，第十二屆中國國際納米技術産業博覽會(CHInano2021)在江蘇省蘇州市工業園區國際博覽中心正式開幕。本屆納博會集“會、展、賽、獎、發布”于一體，聚焦納米新材料、微納米制造、第三代半導體等納米技術産業化前沿與熱點，打造全方位展覽展示平台，推進納米技術産業高端交流、合作對接與創新發展。西人馬公司攜帶多款MEMS芯片和傳感器産品亮相第十二屆納博會，全方位展示了西人馬的MEMS産品線和技術研發實力。西人馬公司的展台位于B館T27展位。

　　在開幕當天的頒獎儀式上，西人馬公司很榮幸地獲得了大會組委會頒發的“2020年中國半導體MEMS十強企業”獎項。每年出爐的“中國半導體MEMS十強企業”評選是對國内MEMS企業的一次大檢閱，該獎項證明了國内近期MEMS領域頭部企業的實力和價值，堪稱是MEMS企業獎項中的“奧斯卡獎”。

　　△Averie博士(左起第四人)代表西人馬領獎

　　這是西人馬公司獲得這項殊榮，也是對西人馬公司多年來深耕MEMS傳感器領域所取得的成績的肯定和贊譽。西人馬公司将會再接再厲，繼續推進中國MEMS傳感器技術的發展和進步。

　　本屆納博會由科技部、中國科學院指導，中國微米納米技術學會、中國國際科學技術合作協會主辦，是國内規模的納米技術交流盛會，納博會所在的蘇州國際博覽中心展區面積達1.8萬平方米，吸引了1600多家科技企業、科研機構、行業協會到場。展會為期3天，其間将發布10場專業報告、258場行業報告。

　　西人馬公司十分重視參加本屆蘇州納博會的活動，為此打造了一個面積為36平方米的展台，全方位展出了西人馬公司的芯片和傳感器産品，并向參展嘉賓和客戶詳細介紹了西人馬公司。

　　△西人馬展台聚集着很多前來咨詢參觀的客戶

　　西人馬具備深厚的科研實力

　　西人馬公司擁有近千名員工，科研人員占比超過60%，其中95%以上為碩博士學曆。公司擁有500多項專利，并以每年30%以上的速度遞增，此外還有近300套工作說明及标準作業指引。西人馬遵循目前國際标準《航空AS9100D》和《醫療ISO13485》，具有ISO/IEC17025資質的實驗室并取得CNAS認證。西人馬公司的全部校準人員都經過ISO17025培訓并取得資質。

　　△西人馬通過的國際标準認證

　　西人馬公司一直緻力于先進MEMS芯片及傳感器制造，擁有MEMS高端傳感器和芯片制造基地，包括各類先進的MEMS芯片、功能材料芯片及傳感器的封裝與測試設備，客戶主要集中在能源、民用航空、軌道交通、精密儀器、工業自動化、物聯網等領域，同時為全球客戶提供MEMS芯片的OEM和ODM服務。

　　經過多年的發展，西人馬已經成為業内知名的IDM芯片公司以及“端-邊-雲”一體化解決方案服務商，具備芯片和傳感器材料合成、設計、制造、封裝和測試全方位能力。

　　在芯片方面，西人馬開發了壓力系列、紅外系列、陀螺儀系列以及電荷放大器系列的芯片。其中的壓力芯片、紅外熱電堆芯片的高靈敏度、快速響應和測量範圍寬的品質在業界備受好評。

　　△西人馬展出的紅外熱電堆芯片

　　西人馬的傳感器産品包括加速度、壓力、位移、滑油品質和陀螺等類型。其中壓電式加速度傳感器AYDV/AYDC等系列目前在飛機發動機、風力發電機組、智慧鋼廠等行業的振動監測系統中應用較多。該系列傳感器有優異的頻響特性和的信噪比，并且體積小、重量輕、溫漂低，可以應用于高端軸承、機翼、旋翼的監測，可大大減少對被測系統的影響。

　　西人馬的邊緣計算通過自主設計的軟硬件平台，以強大的數據采集能力和AI算法能力為依托來實現，可以滿足不同行業或應用場景下的自檢、故障偵測、隔離、以及恢複機制等需求。

　　塔斯雲是西人馬結合機器神經系統搭建的現代化數據密集型應用平台，以數據融合為基礎，支持多種算法，可提供基于雲計算、人工智能、運算一體化、全量數據安全的一站式自助敏捷開發服務，完美适用沖擊脈沖分析、能量譜分析、人臉識别、行為分析、故障檢測等多種場景。

　　△西人馬塔斯雲平台界面

　　西人馬公司具備矽基芯片及非矽基芯片設計、制造、封裝和測試全方位能力，基于這些先進的核心技術，西人馬既可以單獨給客戶提供高品質的芯片産品，也可以提供相應的模組和解決方案，利用西人馬先進的傳感器、邊緣計算産品和雲工具開發套件幫助客戶快速地搭建起具有監測與控制功能的AIoT系統。

　　先進的MEMS制程工藝和質量管控

　　西人馬公司在納博會上展出了MCU芯片、AI SoC芯片、壓力芯片、加速度傳感器、壓力傳感器、滑油品質傳感器、光學/紅外傳感器。其中，以MEMS技術為基礎開發的各類傳感器是西人馬公司重點展示和推廣的産品。

　　△西人馬展出的壓阻式壓力傳感器

　　西人馬公司MEMS芯片及傳感器生産線車間，配備8英寸向下兼容6英寸的MEMS智能傳感器芯片産線和MEMS器件加工平台，擁有6000平方米的高等級潔淨車間，具備深矽刻蝕、鍵合、光刻、原子力顯微鏡、掃描電鏡等先進的制造、封裝與檢測設備，具備一體化的量産能力。

　　例如在MEMS芯片制程過程中，西人馬公司采用專業的刻蝕機，使用電感耦合等離子體(ICP)來實現刻蝕，鈍化沉積和刻蝕交替進行，快速形成一個垂直的側壁，具有高選擇比和高刻蝕速率的優點。

　　△西人馬先進的刻蝕機

　　另外，西人馬的光刻技術也處于比較先進的水平。西人馬公司引進了ASML光刻機以及日本的自動塗膠機和顯影機。光刻機是将塗完膠的晶圓通過曝光将掩模版上的圖形轉移到Wafer表面。最後經過顯影，在Wafer表面形成最後的圖形。而自動塗膠機的作用是将光刻膠均勻塗到晶圓表面上，以方便後面的曝光顯影。

　　西人馬公司利用掃描電子顯微鏡(SEM)對MEMS器件關鍵工藝的微觀形态進行測試、分析，實現SEM對MEMS的有效測量和工藝驗證。而原子力顯微鏡(AFM)是利用微懸臂系統和放大臂上面的細小探針與被測物體之間的原子相互作用來進行檢測，它的分辨率可以達到原子級别。

　　西人馬公司十分重視對質量品質的管控。以MEMS壓阻式壓力傳感器為例，通過高精度壓力源，再通過高精度的直流電源，可以測量到在不同的壓力源下産品的各種特性，包括傳感器的靈敏度、零位輸出、滿量程輸出。另外，還可以計算出傳感器的線性、遲滞、重複性，最後可以得到傳感器的綜合精度。目前西人馬壓力傳感器的綜合精度可以達到±0.05%，已經達到國際水準。

　　如果您想進一步了解西人馬公司或尋找合作商機，歡迎在10月27-29日莅臨蘇州國際博覽中心B館T27展位，西人馬期待您的光臨。