曹景博:從OLED蒸鍍的現在和未來談行業布局與發展

　　2021年10月19日，在上海市經信委、金山區人民政府的指導下，由上海金山工業區、中國光學光電子行業協會液晶分會、中國OLED産業聯盟聯合主辦的第五屆“金水湖”論壇暨2021全球AMOLED生态鍊峰會，在上海金山假日酒店開幕。此次峰會将以“創新策源·芯屏鍊動”為主題，聚焦AMOLED領域熱點、難點、關鍵點，邀請行業專家及企業高層會聚一堂，共商行業發展。

　　作為開幕當天分享的重量級嘉賓，合肥欣奕華OLED事業部總經理曹景博先生以《OLED蒸鍍設備的現狀與未來》為題做了主題演講。

　　曹景博先生表示，OLED顯示技術作為一種新型顯示技術，近幾年正處于快速發展階段并廣泛應用于中高端手機面闆。OLED mobile PC出貨量呈逐年增長趨勢且OLED smartphone 今年有比較突出的市場滲透率。最近，元宇宙概念大火，帶動VR設備進入放量階段，作為VR/AR設備的關鍵——矽基OLED産業将進入發展高速道。但是目前國内OLED顯示材料和裝備國産化率仍比較低，特别是關鍵裝備，國産化比例不足10%。

　　合肥欣奕華作為國内最早布局OLED蒸鍍設備研發企業，一直在為關鍵裝備自主化而努力，通過多年的持續研發投入，攻克了高均勻度蒸鍍、高精密對位、真空設計、溫度及壓力控制等核心技術難點。截止目前，共申請專利49件，其中已獲得授權23件，完成軟件著作權登記3件。

　　作為蒸鍍設備和關鍵裝置自主化先行者，合肥欣奕華已掌握OLED整機和關鍵裝置的核心技術，開發出了蒸發源、高精密對位系統等蒸鍍機關鍵裝置，G1/G2.5蒸鍍機，以及8英寸和12英寸矽基蒸鍍機等産品。OLED蒸鍍機及相關關鍵裝置技術達到世界先進水平，并于2020年通過安徽省首台套重大技術裝備認定。

　　曹景博總經理介紹2021年合肥欣奕華憑借OLED蒸鍍機研發設計經驗，依托OLED高精密對位技術的二次創新，攻克了矽基OLED 蒸鍍機膜厚均一性、穩定性和微米級高精密定位技術難題。同時，對于某些特殊蒸鍍材料，通過蒸鍍趨勢模拟，開發特定的蒸發源并制定蒸鍍工藝實現其長期穩定蒸鍍，合肥欣奕華成為國内頭家量産型矽基OLED蒸鍍機交付的公司。這是合肥欣奕華又一次突破，矽基蒸鍍機的交付是我國泛半導體領域核心工藝裝備自主化道路上的又一裡程碑。

　　在談到未來發展方面，曹景博先生認為技術主要會向三個方向發展：一是面向大尺寸OLED的噴墨打印技術;二是适用于大尺寸OLED面闆蒸鍍的OVDP和垂直蒸鍍技術，三是擁抱面向元宇宙的高分辨率RGB全彩矽基蒸鍍技術。合肥欣奕華将持續發力，繼續攻堅，建立上下遊共同發展的生态鍊，協同分工，助力OLED顯示産業快速發展。