【每日科技網】
三星一方面積極向的EUV雕刻機制造商ASML訂購，另一方面也增資為EUV産業鍊輸血。
據報道，三星電子星期二投資430億韓元(約2.5億)購買了152萬股韓國FST公司的股票，成為第三大股東，持股率為6.9%。
FST是生産口罩/口罩保護膜和冷卻器的制造商，保護膜簡單地保證口罩不受灰塵影響，冷卻器控制半導體制造過程中的溫度。
FST正在開發EUV光罩保護膜，設計目标是全尺寸、碳化矽基質、30nm尺寸、透光率90%。
目前，一家公司大規模批量生産EUV光罩保護膜FST成功後，對産業和自身收入有積極影響。
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