國産G5内存與三巨頭對比:DUV多重曝光競争力拉滿 差距不到0.9nm

2026-09-22 16:40:10 來源:快科技
        【每日科技網】

  剛過去的周末長鑫科技發布了一個重要新聞,宣布自研的第五代内存平台G5量産了,并且同步展出基于該平台打造的大容量LPDDR5X新品。

  與以往不同的是,長鑫這次還非常自信、大方地公布了G5代内存的技術規格,托創新的四重曝光技術把内存陣列的有源區半間距微縮至11.95納米,接近全球最頂尖的内存量産平台制程。

  通過變革工藝流程、采用新材料,存儲電容深寬比達45:1;開發适配DRAM工藝的高介電常數金屬栅(HKMG)工藝,成功将G5平台核心功能區高度縮小到6762納米。

  這個技術參數我們之前做過科普了,那麼問題來了——長鑫G5内存跟三星、SK海力士、美光三巨頭的最新産品相比如何呢?

國産G5内存與三巨頭對比:DUV多重曝光競争力拉滿 差距不到0.9nm

  網友tphuang發了一張G5與其他三家的1b、1c等工藝的對比,這兩個命名是三星、SK海力士在用,美光用的則是希臘字母的α、β、,代數上是等價的,簡單的關系可以看上圖。

國産G5内存與三巨頭對比:DUV多重曝光競争力拉滿 差距不到0.9nm

  至于G5與其他三家廠商的工藝對比,這個圖列的參數倒是很有趣——長鑫公布的很多參數,三大廠的參數沒有,三大廠公布的很多參數,長鑫這邊又沒有,但還是能看個大概的。

  這裡面的核心指标是半間距,這是DRAM工藝斷代的關鍵,長鑫做到了11.95nm,這個數值卡在11到12nm之間,卡位可以說非常微妙了,因為12nm差不多會被認為是1b工藝,11.Xnm則會進入最新的1c工藝。

  但是跟美光的1c/1γ工藝相比,這個11.95nm工藝又大了0.9nm左右,因此說G5比當前最先進的工藝落後半代甚至一代也沒問題,長鑫自己的定位是接近全球最頂尖的内存量産平台制程。

  但是再看cell size這個指标,長鑫的G5大約是在0.00086到0.00111um2之間,下限也是接近1c/1γ,上限也要比1b工藝少個10%左右。

  如果說指标上的差距是數字多少的問題,那G5與三星、美光和海力士的最根本區别在于這三家在14nm節點之後已經轉向了EUV光刻工藝,美光用的最少也有1層EUV光刻,三星海力士是4-6層,普遍在5層,而長鑫G5隻有DUV光刻工藝的選擇。

  長鑫這次也沒瞞着,直接說了他們用四重曝光,也就是SQDP技術做到了G5内存技術的量産,其他技術還有HKMG、45:1深寬比刻蝕等。

  DUV四重曝光不論是在内存工藝還是邏輯工藝上,技術已經不是最大問題,CPU工藝四重曝光上做到3nm都沒問題,甚至有可能追到2nm級别,它的難點在于成本,曝光次數越多良率、産能就越低,生産出來的芯片就成本就高得很,沒有競争力。

  然而内存市場現在給了長鑫用四重曝光量産G5内存最大的支持,那就是内存價格實在是太高了,毛利率随便就超過80-90%,這樣的高利潤率下用四重曝光都沒問題,這也是長鑫表态G5在産品能效、成本控制上均具備顯著優勢的基礎。

  三巨頭這一波将内存價格拉到了史無前例的地步,自己當然賺了讓所有半導體廠商都嫉妒的超額利潤,但他們肯定想不到這給了中國内存廠商一個崛起的機會,以前歐美日韓都相信隻要禁了EUV光刻機,中國廠商的芯片技術差距會落後到10年以上,不再有競争力。

  但他們沒想到的是這一天會來得這麼快,現在不能說長鑫一定能靠着G5内存改變市場格局,但隻要内存價格這麼持續下去,這幾年内國内至少還有兩三家可以量産内存的公司加入戰場,過幾年這個市場的殺價情況已經可想而知了。

國産G5内存與三巨頭對比:DUV多重曝光競争力拉滿 差距不到0.9nm

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