據業内透露，截至第二季度，ASML EUV 設備出貨總量達到 102 台，随着需求量的提高和客戶群的擴大，預計 2 年内累計供應量将增加 2 倍以上，标志着 EUV 時代正式拉開帷幕。
據 ETNews 報道，過去四個季度(2020 年第三季度-2021 年第二季度)，ASML EUV 設備出貨總計 40 台，較之前四個季度(2019 年第三季度-2020 年第二季度)增長了 66%。ASML 今年的出貨目标是 40 台左右，下半年将供應 25 台左右。
ASML 擴大 EUV 設備供應響應了半導體制造業實現超微電路層的需求。盡管每台設備的價格達到 1.71 億美元，但由于其卓越的工藝成本和省時效果，可以抵消設備采購的成本。業内人士指出，通過 EUV 可以降低設備成本和工藝成本，因此，在微加工領域引進 EUV 設備的企業越來越多。
根據 ASML 的說法，5-7nm 邏輯半導體(以每月 45,000 顆晶圓為基準)每個 EUV 層需要一台 EUV 設備，16nm 及以下節點 DRAM(以每月 100,000 顆晶圓為基準)每個 EUV 層則需要 1.5-2 台設備。三星電子計劃，到今年下半年為止，将 14nm DDR5 DRAM 的 EUV 應用層數從 1 層增加到 5 層，SK 海力士也計劃增加 EUV 應用層數，因此，預計 EUV 設備的需求将進一步增加。
除了 EUV 層的增加，EUV 設備的客戶群也在逐漸擴大。繼 2018 年三星電子引進 7nm 制程的 EUV 設備後，台積電和 SK 海力士也加入了 EUV 競争。美國的美光和英特爾也在推進 EUV 設備的引進，預計市場規模将進一步擴大。
業界預測，EUV 時代将全面加速發展。因此，ASML 計劃通過增加設備供應來滿足需求。ASML 首席執行官 Peter Wennink 在第二季度财報會議上表示:“我們計劃明年将 EUV 設備的産量增加到 55 台，到 2023 年将達到 60 台。”兩年後，市場上将有 240 多台 EUV 設備投入使用，超過了目前積累的供應量。
但據觀察，台積電已确保了目前供應的半數 EUV 設備。台積電擁有約 50 台 EUV 設備。考慮到 EUV 設備的目前由 ASML 供應，三星電子、SK 海力士等半導體企業很難在短時間内确保有足夠的設備。
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