晶瑞電材:公司光刻膠産品達到國際中高級水準

2021-09-03 11:16:51 來源:IT之家
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晶瑞電材:公司光刻膠産品達到國際中高級水準

  八月二十五日,晶瑞電材在投資者互動平台上表示,公司光刻膠産品達到國際中水平,在國内享有悠久的聲譽,穩定生産光刻膠近三十多年,是國内最早批量生産光刻膠的企業之一。

  光刻膠是世界上技術門檻的微電子化學品之一。高端産品的研發和生産主要由日本JSR、新悅化學、東京應化等少數公司壟斷。

  晶瑞電材表示,公司承擔并完成了國家02專項“i線光刻膠産品開發及産業化”項目。

  公司是中國曆史最悠久、供應的光刻膠生産企業之一,産品序列齊全,産業化規模和盈利能力處于行業水平。其中,g/i光刻膠已向中芯國際、合肥長信等知名大型半導體制造商供應,KrF(248nm深紫外線)光刻膠已完成中試。目前已進入客戶測試階段,測試通過後即可進入量産階段。

  ArF高端光刻膠研發已正式啟動,旨在開發符合90-28nm芯片制造工藝的ArF(193nm)光刻膠,滿足集成電路行業關鍵材料的市場需求。

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