
8月25日,景瑞電氣在投資者互動平台上表示,公司光刻膠産品達到國際中水平,在中國享有悠久的聲譽,穩定生産光刻膠近30年,是中國最早大規模生産光刻膠的企業之一。
光刻膠是世界上技術門檻的微電子化學品之一。高端産品的研發和生産主要由日本JSR、新悅化學、東京應化等少數公司壟斷。
晶瑞電材指出,公司承擔并完成了國家02專項光刻膠産品開發與産業化項目。公司是中國曆史最悠久、供應的光刻膠生産企業之一,産品序列齊全,産業化規模和盈利能力處于行業水平。其中,g/i光刻膠已向中芯國際、合肥長信等知名大型半導體制造商供應,KrF(248nm深紫外線)光刻膠已完成中試。目前已進入客戶測試階段,測試通過後即可進入量産階段。ArF高端光刻膠研發已正式啟動,旨在開發符合90-28nm芯片制造工藝的ArF(193nm)光刻膠,滿足集成電路行業關鍵材料的市場需求。
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